十字扭簧轴承自由弹性转轴是半导体行业的关键部位
半导体工业多年来一直在使用自由FECT-转轴,以促进光刻制造的晶圆和集成电路的生产。随着技术的进步和新的制造方法的出现,还必须调整设备以提高速度和准确性。
在晶圆的生产过程中,有许多步骤是从创造、加工、掩蔽和检查开始的。这些过程使用了许多不同的技术,需要传感器、镜子和光束的精细运动和高频振荡。
"自由活动"是一种特别适合于这类任务的紧凑和现成的装置,除其他外,提供下列好处:
无维护操作的无限寿命
适合清洁房间和真空环境
会以高速振荡
自然顺从弹性吸收小振动
